IMPROVE steht für Implementing Manufacturing Science Solutions to Increase Equipment Productivity and Fab Performance. Dieses Europäische Forschungsprojekt wurde von insgesamt neun geförderten Projekten im Rahmen einer europaweiten Ausschreibung des ENIAC Joint Undertaking ("European Nanoelectronics Initiative Advisory Council") als bestbewerteter Forschungsvorschlag für eine Förderung durch die Europäische Union und ihre Mitgliedsstaaten ausgewählt. Einer der größten Geldgeber ist dabei das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) als nationaler Fördergeber.
IMPROVE hat ein Gesamtbudget von 37,7 Millionen Euro. Es wird zur Hälfte von den Projektpartnern aus Wirtschaft, Wissenschaft und Forschung finanziert. Die andere Hälfte wird von ENIAC und der Europäischen Union sowie aus Mitteln nationaler Behörden gedeckt. Das BMBF fördert das Projekt mit 3,5 Millionen Euro.
Im Rahmen von IMPROVE werden Methoden und Werkzeuge für eine bessere Kontrolle von Prozessschwankungen und reduzierte Durchlaufzeiten in den Fertigungsprozessen entwickelt. Damit lassen sich die teuren Anlagen und Ausrüstungen in der Halbleiterindustrie flexibler und kosteneffizienter einsetzen.
Das Projekt gliedert sich in die drei Themenbereiche: Virtual Metrology (virtuelle Messtechnik), Predictive Maintenance (vorausschauende Instandhaltung) und Adaptive Control Planning (variable Qualitätskontrolle).
- Die Entwicklung virtueller Messtechniken (Virtual Metrology), die die Prozesskontrolle auf Wafer-Ebene vorantreibt, um Standard-Messtechniken zu ersetzen.
- Die Entwicklung einer vorausschauenden Instandhaltung (Predictive Maintenance), um die Zuverlässigkeit von Maschinen zu verbessern, die Wartungszyklen zu optimieren, sowie die Maschinenlaufzeit zu erhöhen.
- Die Entwicklung einer variablen Qualitätskontrolle (Adaptive Control Planning), damit zukünftig nicht notwendige Messungen vermieden werden können.
