In den letzten Jahrzehnten hatte die Weiterentwicklung und Miniaturisierung der vielschichtigen Fertigungsverfahren in der Halbleiterindustrie einen schnellen Anstieg der Komplexität ihrer Technologie zur Folge. So stieg z.B. die Anzahl der benötigten Prozessschritte. In der Folge müssen mehr und mehr Tool-Rezepte entwickelt, getestet und gepflegt werden. Diese Anzahl an Rezepten steigt zusätzlich mit der größer werdenden Anzahl der gefertigten Produkte.

Der Prozess definiert sich heute oft nicht mehr nur über den Rezeptnamen, sondern zusätzlich über eine Kombination von "Objekten" wie z.B. Equipment-Parametern, Konstanten, Einstellungen und einem speziellen Rezept-Body. Diese Abhängigkeit von verschiedenen Rezeptobjekten beinhaltet ein hohes Risiko für Fehlprozessierung aufgrund

• falscher Auswahl eines Rezept-Bodys oder des Rezeptnamens
• der Verwendung einer falschen Rezeptversion
• der Verwendung eines Rezept-Bodys mit falschem Inhalt
• fehlender Equipment-Parameter
• etc.

All diese Daten müssen an einem zentralen Ort administriert, gespeichert und verwaltet werden. Zusätzlich benötigt man ein Versionierungssystem, das Freigaben von den für den Prozess Verantwortlichen einfordert, bevor ein neues oder geändertes Rezept in der Produktion verwendet werden kann.

Ein universelles Rezept-Management-System (RMS) - LineWorks RM von camLine - ist unsere Antwort auf die Herausforderung, das Risiko für Falschprozessierung zu minimieren. Es wurde speziell dafür entwickelt, auch komplexe Rezepte inklusive aller Objekte sowie ihrer Abhängigkeiten, die einen Prozessschritt definieren, in einer zentralen und sicheren Datenbank speichern und verwalten zu können. LineWorks RM verbindet das einzelne Rezept (Rezeptobjekt) mit einem eindeutigen Prozessschritt, einem Engineering-Testrun, einem Equipment oder einem Los. Es zeichnet ebenso alle Änderungen auf, die zur Verbesserung des Prozesses von den Ingenieuren vorgenommen werden (Versionierung). Auch fordert es eine Freigabe des jeweils Verantwortlichen vor der Validierung und Aktivierung eines neuen Rezeptes oder einer neuen Rezept-Version an.

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