LineWorks SDC
Effektive statistische Methoden zur Erkennung von Defekten auf Wafern
Als fabrikweit integrierte Lösung bietet dieses Add-on von SPACE statistische Methoden zur Aufdeckung und Analyse von Defekten (wie z.B. Störstellen, Herstellungsfehler, Partikel, Kratzer) auf Wafern.
Ihre entscheidenden Vorteile:
- Sparen Sie Kosten und Zeit, indem Sie Killer-Defekte aufdecken und mit vielseitigen statistischen Methoden zur Prozessregelung überwachen.
- hohe Aufffälligkeit von Defekten mithilfe automatisierter Erkennung
- Bemerken Sie Defekte schneller durch periodische Defekt- und Ursachenanalysen.
