Dünnschicht-Fertigungsprozesse für Halbleiter, MEMS etc. nutzen ein breites Spektrum an unterschiedlichen Prozesstechnologien und einen vielfältigen Mix an verwendeten Materialien. Die Details der Fertigungsrezepte stellen einen wichtigen Wissensbestand dar. Anders als in der Mikroelektronik ist der MEMS-Fertigungsprozess in den meisten Fällen applikationsspezifisch und damit ein integraler Bestandteil des Applikationsdesigns. Die hohe Anzahl unterschiedlicher Schrittvarianten, die langen Ketten von Schritten, die für einen kompletten Fertigungsablauf erforderlich sind, das Wissen um die einzelnen Schritte, die Wechselwirkungen zwischen den verwendeten Fertigungsschritten und die Dos und Don’ts der Verkettung sind die geheime Zutat für den Fertigungserfolg und die Wettbewerbsvorteile. Um die richtige Kombination von Prozessschritten, Materialien und Prozessparametern zu finden, sind in der Regel viele teure und zeitaufwändige Experimente notwendig. Die Vielzahl der in der Produktherstellung verwendeten Fertigungsschritte ist aber nur ein sehr kleiner Bruchteil der in einem Unternehmen vorhandenen Rezepte. Die Fülle von Bearbeitungsschritten, die in einem F&E-Institut oder einer Universität nur einmal verwendet werden, erfordert ein noch sorgfältigeres Management.
Diese Anwendungsfallstudie stellt ein Projekt mit einem Forschungsinstitut vor, in dem ein Softwaresystem zum Forschungsdatenmanagement [forschungsdaten.info 2021] eingesetzt wird. Es unterstützt die MEMS-Bauteil- und Prozessentwickler bei der Verwaltung ihrer Daten, insbesondere ihres detaillierten Rezeptwissens. Sie nutzen das Softwaresystem, um ihre neuen oder geänderten Fertigungsprozesse in einer virtuellen Fertigungsumgebung zusammenzustellen und zu verifizieren. Dadurch wird die Anzahl der realen Experimente auf ein Minimum reduziert.