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EXPERTISE
Work Smarter Video-Serie

Graph illustrating accelerated battery production time with 15 cycles and 99.8% accuracy.

Entdecken Sie, wie camLines KI-gestützte Battery Lifetime Predictor und Root Cause Analyzer die Batterie-F&E-Zyklen beschleunigen, indem sie Testzeiten von Wochen auf Stunden reduzieren.

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ACADEMY
Upcoming Event

Thumbnail image for camLine's 'Breakfast for Engineers' event discussing a case study on standardizing recipe management.

Breakfast for Engineer: Eine Case Study zur Standardisierung der Rezeptverwaltung

Date: July 29, 2025 
Location: Aloft Portland Airport, USA

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White Paper

Design of Experiments (DoE) Workflow mit Fokus auf Wafer Uniformity in der Halbleiterindustrie

DoE ist ein Werkzeug zur Erstellung von quantitativen Prozessmodellen mit einer sehr begrenzten Anzahl von Durchläufen (weit unter vollständigen faktoriellen Designs), wobei diese Durchläufe jedoch so effektiv eingesetzt werden, dass die Unsicherheit des Modells im Vergleich zu häufig verwendeten Methoden wie der Ein-Faktor-zu-einem-Zeitpunkt-Strategie erheblich verringert wird. Es wird ein Beispiel für das Ätzen von Kontaktlöchern (Halbleiter) verwendet. Kontaktlöcher werden verwendet, um leitende Verbindungen zwischen verschiedenen Schichten komplexer Halbleiteranwendungen herzustellen, die durch eine Isolationsschicht elektrisch getrennt sind. Nachdem die Position der Löcher durch lithografische Verfahren festgelegt wurde, wird beim Ätzprozess die zusätzliche Schicht an diesen Positionen durch Plasmaätzung entfernt: reaktive Gase strömen durch die Ätzkammer, ein Plasma wird durch eine Hochfrequenzstromquelle erzeugt, wobei der Druck niedrig gehalten wird.

Whitepaper cover for "Design of Experiments (DoE) Workflow with Focus on Wafer Uniformity in Semiconductor Industries."

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